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Plateforme de mesure de force de microprécision

Plateforme de mesure de force de microprécision

challenge

Un fournisseur américain de composants d’interconnexion pour le secteur des semi-conducteurs avait besoin d’un système de mesure des forces capable de mesurer les forces de compression de dispositifs minuscules sur un substrat de 300 mm.

Avec l’adaptation de leurs produits pour des wafers de taille supérieure, le client avait besoin d’un système facile à configurer pour la vérification de milliers de mesures d’une multitude de types de pièces à un débit de 3 000 tests par heure et fournissant des données précises de force et de hauteur.

solution

Pour mesurer le dispositif avec précision, le système devait être capable de mesurer des forces comprise entre 0 et 30 grammes sur une distance comprimé de 50 µm. Les valeurs de hauteur du dispositif devaient être mesurées ±2,5 µm sur toute l’enveloppe de 300 nm. En fonction de ces exigences, l’équipe a conçu une plateforme standard de test pour ce dispositif. Les fonctionnalités de la plateforme comprenaient notamment :

  • Cartographie des axes XY au moyen d’un réticule de visée en verre muni d’une plaque de quadrillage qui permet d’améliorer la précision des coordonnées
  • Cartographie automatique de l’axe Z dans un plan optique pour une meilleur précision planaire
  • Axe de coordonnées Z à coussin d’air, de faible poids et sur mesure avec moteur servo à bobine mobile et accéléromètre utilisant le système servo et les algorithmes prédictifs pour mesurer précisément la force et la hauteur
  • Cartographie automatique des constances de force ±0,019 N/mm
  • Cartographie automatique des hauteurs mesurées ±2,5 µm
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outcomes and benefits

déplacement de 300 mm des axes XY, précision XY de ±5 µm et ±2 °C, déplacement de 3 mm de l’axe Z, précision Z de ±2,5 µm, répétabilité Z supérieure à ±250 nm, Mesure de force de 0 – 0,3 newtons à 2 mN de résolution
Petite machine qui mesure les forces avec énormément de précision
Industry
Battery & Energy
Technical Capabilities
Inspection & Testing Micro Precision Applications
Region
Door Hinge Robots 2

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