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Machine d’inspection des wafers
challenge
Le client, un fabricant de wafers pour puces, voulait une machine pour contrôler les wafers en termes d’alignement des puces, de défauts de contamination et de profondeur des rainures. Notre machine donnait plus de flexibilité au client car elle peut être configurée comme une machine en ligne ou autonome.
La machine devait être capable de détecter les tailles précises et les configurations uniques sur chaque wafer. Par conséquent, il a fallu développer des routines de traitement de l’image créées sur mesure afin de détecter et de caractériser les différents défauts et les différentes configurations identifiées sur les wafers.
solution
Le contrôle en ligne permet d’inspecter les wafers en cours de processus de fabrication et d’éliminer les puces rejetées afin de garantir la qualité du produit fini. Le contrôle autonome est possible pour le traitement de lot et le contrôle ponctuel, en hors ligne du flux de production, afin de donner plus de flexibilité pour la configuration de l’atelier.
- Utilisation d’un système optique haute résolution avec zoom automatique afin d’atteindre une précision submicronique de mesure du désalignement des puces et des défauts en surface
- Incorporation de différentes techniques de traitement de l’image sur mesure pour permettre à la machine de détecter les bavures de colle, les contaminants, les rayures, les déformations et l’absence d’éléments
- Capable de mesurer des profondeurs de rainures avec une résolution de 2 nm
- Capable de détecter les contours du wafer avec une résolution de 0,1 micron
- Application d’axes à moteur linéaire haute précision qui permet à la machine d’effectuer un positionnement haute vitesse
outcomes and benefits
La machine d’inspection des wafers développée par notre équipe permettait de modifier automatiquement le mode d’inspection en fonction des différents types de produits. De plus, le schéma d’échantillonnage de l’inspection pouvait être configuré par l’utilisateur.
Cette machine a permis au client de réaliser de meilleurs contrôles qualité de ses wafers pour puces car la machine détecte systématiquement et classifie les défauts invisibles à l'œil nu. En outre, les défauts sont détectés bien plus rapidement par la machine qu’à l'œil nu, ce qui permet de réduire les besoins en main d'œuvre du client.
La configuration variable de la machine donne plus de flexibilité au client dans l’atelier
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