Plataforma de medición de fuerza de microprecisión

Para medir el dispositivo con precisión, el sistema debía medir fuerzas de entre 0 y 30 gramos en una distancia comprimida de 50 µm. Los valores de altura del dispositivo se debían determinar dentro de ±2.5 µm en los 300 mm del envoltorio. Para cumplir con estos requisitos, el equipo diseñó una plataforma estándar para probar el dispositivo. Las funciones de la plataforma incluyen:

• Al mapeo de los ejes XY que utilizan una placa vítrea de grilla reticular para mejorar la precisión XY
• Mapeo automático del eje Z de una bandeja óptica para proporcionar precisión planar
• Platina de eje Z de cojinete de aire personalizado de masa baja con servomotor de bobina de voz y un acelerómetro que utiliza un sistema servo y algoritmos de alimentación para medir con precisión fuerza y altura
• Mapeo automático de constantes de fuerza dentro de 0.019 N/mm
• Mapeo automático de alturas medidas dentro de 2.5 µm