Optischer Prozessor

Nachdem ein SCARA-Roboter den Substrattyp mit einer Kamera identifiziert hat, nimmt er das Substrat auf und legt es auf den Ausrichtungstisch. Nach der Identifizierung des Fenstertyps nimmt derselbe Roboter das Fenster auf und legt es in ein Kontrollsystem, das nach optischen Fehlern im Glas sucht. Dann stellt der Roboter die Fensterposition relativ zum Substrat mit Hilfe einer Kamera auf einem genau abgebildeten X/Y-Tisch ein. Die endgültige Ausrichtung beträgt eine Toleranz von 10 µm. Das Fenster und das Substrat werden zusammengeklemmt und der Roboter gibt die Baugruppe in eine zweite Roboterkammer frei, in der die Baugruppe an allen vier Seiten nahtgeschweißt wird. Die Baugruppe wird dann einer Dichtigkeitsprüfung unterzogen.