Hochgeschwindigkeitslinie für Solarzellendruck

Roboter bestücken in Wafer-Auf-/Abstapelmagazinen. Der oberste Wafer schwimmt auf einem Luftkissen, damit der Roboter den Wafer mithilfe von Unterdruck aufnehmen kann, ohne den darunter liegenden Wafer zu beschädigen. Die Wafer werden in einer Zweierkonfiguration zu nach oben gerichteten Kameras bewegt, um die Griffposition zu verfeinern. Die Wafer werden dann von den beiden Laderobotern auf einen großen Rundschalttisch gelegt. Nach dem Transportieren durch den Siebdruck werden die Wafer auf Druckfehler untersucht. Die Zellen werden dann an den Kanten ergriffen und auf Linearförderern platziert. Nach dem Durchlaufen eines Aushärtungsofens in einer Viererkonfiguration gehen die Zellen zu einem von hinten beleuchteten Förderer über. Das bildgestützte System erfasst Substratpositionen. Die Zellen werden in den Referenzraum von zwei Robotern trassiert. Die Wafer werden im laufenden Betrieb aufgenommen und ihre Griffpositionen werden mit nach oben gerichteten Kameras verfeinert. Das ausgehärtete Produkt wird in Abwärtsstapelmagazine platziert.